| 摘要 |
Композиция для фотоактивированного травления пленок диоксида кремния, включающая полимерную основу полиметилметакрилат, фоточувствительный компонент фторид аммония, трифторуксусную кислоту и протофильный реагент, отличающаяся тем, что в качестве протофильного реагента использован дифениламин, а в качестве растворителя - ацетон, при следующем соотношении компонентов, мас.%: |
