Komponenten-Analyse-Systeme und -Verfahren

摘要

Komponente-Charakteristik-Analyse-Systeme und -Verfahren sind beschrieben. In einer Ausführungsforms weist ein Ring-Oszillator auf: zumindest eine Inversions-Stufe, welche operabel ist, einen Signal-Übergang zu bewirken; eine Ziel-Komponente, welche eine erhöhte vergleichsweise Auswirkung oder Einfluss auf eine Signal-Übergangs-Ausbreitung in dem Ring-Oszillator hat; und eine Ausgabe-Komponente zum Ausgeben einer Anzeige der Auswirkung, welche die Ziel-Komponente auf den Signal-Übergang hat. Die Ziel-Komponente kann eine Mehrzahl von Vias von einer Metallschicht zu einer anderen Metallschicht umfassen. Die Mehrzahl von Vias von einer Metallschicht zu einer anderen Metallschicht kann in einer Zelle konfiguriert sein. Die Vias könnrn einer Via-Schicht entsprechen. In einer Ausführungsform ist die Ausgabe mit einer Analyse-Komponente gekoppelt. Die Analyse-Komponente kann eine Korrelation des Via-Widerstands in eine Wafer-Variation umfassen und kann eine Wafer-Karte erzeugen. Die Analyse-Komponente kann eine Korrelation des Via-Widerstands in einen umfassen.