| 摘要 |
1. Способ изготовления фокального матричного приемника, содержащего один или более пикселей, включающий:формирование первой пластины с находящимся на ее поверхности чувствительным материалом, покрытым первым жертвенным слоем, при этом чувствительный материал формирует на первой пластине один или более пикселей,выполнение опорных ножек для единственного или каждого пикселя внутри первого жертвенного слоя, покрывание их дополнительным жертвенным слоем и формирование в поверхности жертвенного слоя первых проводящих участков для единственного или каждого пикселя, которые находятся в контакте с соответствующими опорными ножками,формирование второй пластины, снабженной считывающей интегральной схемой (ROIC), при этом вторая пластина покрыта вторым жертвенным слоем, в котором сформированы вторые проводящие участки для единственного или каждого пикселя, находящиеся в контакте с ROIC,приведение жертвенных слоев первой пластины и второй пластины во взаимный контакт таким образом, чтобы первые и вторые контактные участки для единственного или каждого пикселя совместились между собой, и сращивание указанных слоев друг с другом таким образом, что после удаления с первой пластины объемного жертвенного слоя чувствительный материал переносится с первой пластины на вторую пластину, иудаление жертвенных слоев с открыванием по меньшей мере одного пикселя,причем каждая из опорных ножек представляет собой цельный компонент, находящийся в прямом физическом контакте как с пикселем, так и с ROIC, обеспечивая тем самым электрическое соединение между ними, и находится полностью под чувствительным материалом своего пиксе |
