一种晶体高温退火装置

摘要

本发明公开了一种晶体高温退火装置，包括上料区域、温场加热区域、冷却区域、下料区域及置于上料区域上的隔绝装置，所述温场加热区域与冷却区域相连，所述上料区域与温场加热区域一端相连，下料区域与冷却区域一端相连，所述温场加热区域还包括依次相连的低温区域、中温区域、高温区域及中温过渡区域，所述上料区域、低温区域、中温区域、高温区域、中温过渡区域、冷却区域及下料区域均设置有轮毂和连接轮毂的传动履带。采用本发明可以实现晶体退火工艺的不间断性，退火周期短，且不受晶体形状制约，各温度区域温度恒定，减少了大量的升、降温时间，提高了生产效率，同时避免了晶体应力开裂，提高了产品质量及成品率。

主权项

一种晶体高温退火装置，包括上料区域（1）、温场加热区域（2）、冷却区域（3）、下料区域（4）及置于上料区域（1）上的隔绝装置（7），其特征在于：所述温场加热区域（2）与冷却区域（2）相连，所述上料区域（1）与温场加热区域（2）一端相连，下料区域（4）与冷却区域（3）一端相连，所述温场加热区域（2）还包括依次相连的低温区域（21）、中温区域（22）、高温区域（23）及中温过渡区域（24），所述上料区域（1）、低温区域（21）、中温区域（22）、高温区域（23）、中温过渡区域（24）、冷却区域（3）及下料区域（4）均设置有轮毂（5）和连接轮毂（5）的传动履带（6）。