| 发明名称 | 一种激光刻蚀制绒工艺 | ||
| 摘要 | 本发明涉及晶硅太阳能电池的制绒领域，特别涉及一种激光刻蚀制绒工艺。一种激光刻蚀制绒工艺，采用激光镭射机，具体的工艺过程为：（1）在激光镭射机的控制电脑上输入形状为圆锥体的刻蚀图形；（2）设定激光源与铅垂线成固定夹角a，激光源围绕激光镭射机中间的支柱自转刻蚀出圆锥形凹坑；（3）激光在整个硅片表面记性刻蚀，最终形成蜂窝状的圆锥体凹坑。本发明的有益效果是：该发明激光刻蚀制绒工艺，可以刻蚀出蜂窝状的圆锥体凹坑，该种类型的刻蚀图形可反射率降至6%左右。 | ||
| 申请公布号 | CN103715305A | 申请公布日期 | 2014.04.09 |
| 申请号 | CN201310748064.5 | 申请日期 | 2013.12.31 |
| 申请人 | 秦广飞 | 发明人 | 秦广飞;金保华;燕飞;汪文渊;王鹏;张建亮 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I;H01L21/268(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 济南泉城专利商标事务所 37218 | 代理人 | 张贵宾 |
| 主权项 | 一种激光刻蚀制绒工艺，采用激光镭射机，具体的工艺过程为：（1）在激光镭射机的控制电脑上输入形状为圆锥体的刻蚀图形；（2）设定激光源(1)与铅垂线(3)成固定夹角a，激光源(1)围绕激光镭射机中间的支柱(2)自转刻蚀出圆锥形凹坑；（3）激光在整个硅片表面记性刻蚀，最终形成蜂窝状的圆锥体凹坑。 | ||
| 地址 | 274300 山东省菏泽市单县经济开发区君子路北段 | ||