一种乙硅烷低温精馏装置

摘要

本实用新型公开了一种乙硅烷低温精馏装置，所述的低温精馏装置包括低温冷凝器，制冷机、第一冷却塔釜和第二精馏塔釜，所述的第一冷却塔釜和第二精馏塔釜上均设有低温冷凝器和制冷机，所述的第一冷却塔釜的连接的低温冷凝器上设有气体进口，所述第二精馏塔釜连接的低温冷凝器上设有气体出口，所述的第一冷却塔釜和第二冷却塔釜通过隔热管路相连接，所述的第一冷却塔釜内设有栅板和填料层，所述的第二精馏塔釜内设有气体加热盘管；本实用新型结构简单，设备投入成本小；操作方便，使反应系统中出来的乙硅烷99%回收分离出来，通过二级低温精馏使乙硅烷纯度达到99.995%的质量标准；方便厂家的生产超大规模集成电路20纳米以下的高端芯片的高纯度4N的乙硅烷，实用范围广。

主权项

一种乙硅烷低温精馏装置，所述的低温精馏装置包括低温冷凝器，制冷机、第一冷却塔釜和第二精馏塔釜，所述的第一冷却塔釜和第二精馏塔釜上均设有低温冷凝器和制冷机，其特征在于，所述的第一冷却塔釜的连接的低温冷凝器上设有气体进口，所述第二精馏塔釜连接的低温冷凝器上设有气体出口，所述的第一冷却塔釜和第二冷却塔釜通过隔热管路相连接，所述的第一冷却塔釜内设有栅板和填料层，所述的第二精馏塔釜内设有气体加热盘管。