发明名称 |
样品制作装置 |
摘要 |
本实用新型提出一种样品制作装置,用于辅助在样品台上制备探针测试样品,所述样品台的一端具有两个斜面,所述两个斜面相交形成一中线,所述样品制作装置包括一固定台,所述固定台为可容纳所述样品台的筒状,所述固定台的一端设置有一目镜,所述目镜正对所述中线,所述固定台具有至少一用于调整所述探针测试样品的开口。本实用新型的所述样品制作装置在使用时,将所述样品台放置于所述固定台内,并通过所述目镜观察所述探针测试样品中分析区域与所述中线的相对位置,通过调整,使所述分析区域的一侧边与所述中线相垂直,从而精确地固定好所述探针测试样品的位置,进而使制备出的所述探针测试样品符合测量标准,使测试结果更为精确。 |
申请公布号 |
CN203536387U |
申请公布日期 |
2014.04.09 |
申请号 |
CN201320672681.7 |
申请日期 |
2013.10.29 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
发明人 |
李震远;史江北;郑晓刚;李爱民;刘竞文 |
分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
屈蘅;李时云 |
主权项 |
一种样品制作装置,用于辅助在样品台上制备探针测试样品,所述样品台的一端具有两个斜面,所述两个斜面相交形成一中线,所述探针测试样品位于至少一所述斜面上,其特征在于,所述样品制作装置包括一固定台,所述固定台为可容纳所述样品台的筒状结构,所述固定台的一端设置有一目镜,所述目镜正对所述中线,所述固定台具有至少一用于调整所述探针测试样品的开口。 |
地址 |
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区(亦庄)文昌大道18号 |