用于集成电路制造设备的通用控制内核系统

摘要

本发明公开了一种用于集成电路制造设备的通用控制内核系统，包括：配置模块，用于在所述内核系统启动时，将对象实例化并将实例化后的对象注册到名称空间中，创建初始名称空间树结构，对所述初始名称空间树结构中的对象进行初始化；控制模块，用于根据配置模块创建的初始名称空间树结构控制高层控制单元调用并执行低层控制单元的服务，其中控制对像的等级由低到高依次为物理层、功能层和操作层，且所述控制对象还包括与所述操作层同等级别的维护层；监控模块，用于监控所述内核系统的条件并在条件满足时独立地执行相应的动作。本发明提供支持软件互锁、数据日志、通信功能的强大应用程序编程接口，通过灵活的配置策略实现组件开发和软件复用。

主权项

一种用于集成电路制造设备的通用控制内核系统，包括：配置模块，所述配置模块用于在所述内核系统启动时，将对象实例化并将实例化后的对象注册到名称空间中，创建初始名称空间树结构，对所述初始名称空间树结构中的对象进行初始化，其中，所述对象映射硬件设备的行为，其中，所述配置模块包括：配置文件解析模块、注册单元和初始化单元，其中，所述配置文件解析模块分析配置文件，根据所述配置文件的信息实例化所述对象；所述注册单元用于将实例化的对象注册至名称空间，创建初始名称空间树结构，所述初始名称空间树结构为多个名称的集合；所述初始化单元按照优先搜索算法遍历所述初始名称空间树结构，并根据所述配置文件的信息对注册后的对象进行初始化；控制模块，所述控制模块用于根据配置模块创建的初始名称空间树结构控制高层控制单元调用并执行低层控制单元的服务，其中控制对象的等级由低到高依次为物理层、功能层和操作层，且所述控制对象还包括与所述操作层同等级别的维护层，其中，所述控制模块包括：物理层控制单元、功能层控制单元、操作层控制单元和维护层控制单元，其中，所述物理层控制单元读取硬件设备中的底层设备的数据项，并向所述底层设备提供服务；所述功能层控制单元通过调用所述物理层控制单元的服务以提供功能层的服务；所述操作层控制单元通过调用所述功能层控制单元的服务以提供操作层的服务；和所述维护层控制单元执行对所述物理层控制单元和功能层控制单元的故障定位和修理，其中，所述维护层控制单元调用所述物理层控制单元和功能层控制单元的服务；和监控模块，所述监控模块用于监控所述内核系统的条件并在条件满足时独立地执行相应的动作；报警模块，用于在所述内核系统发生异常，发出报警；日志模块，用于以日志的形式记录所述内核系统运行过程中的信息，其中，所述日志模块包括：数据日志单元和系统日志单元，其中，所述数据日志单元用于以第一预定周期记录所述内核系统的数据和事件；和所述系统日志单元用于以第二预定周期记录所述内核系统的调用信息和跟踪信息。