谐振式加速度传感器件

摘要

本发明公开了一种谐振式加速度传感器件，包括谐振敏感元件、U型质量块、第一挠性桥、第二挠性桥、C形连接块、连接梁、环形连接块、第一固定块和第二固定块。所述谐振敏感元件由第一基部、第二基部以及固接于二者之间的第一振梁和第二振梁构成，两振梁正面设有矩形凹槽，该凹槽的开口方向与两振梁的振动方向垂直，所述凹槽的内壁覆盖有第一激励电极，振梁的两侧壁分别覆盖有第二激励电极，第一振梁和第二振梁通过电极与激励电源的连接使两者振动方向相反。本发明有利于器件的微型化，并可有效提升振梁谐振稳定性，器件的灵敏度更高，同时降低了电极的制作难度。

主权项

谐振式加速度传感器件，包括谐振敏感元件、U型质量块、第一挠性桥、第二挠性桥、C形连接块、连接梁、环形连接块、第一固定块和第二固定块，其特征在于：所述谐振敏感元件由第一基部、第二基部以及固接于二者之间且工作于宽度弯曲谐振模态的结构相同的第一振梁和第二振梁构成，第一振梁和第二振梁正面朝向相同且正面设有矩形凹槽，该凹槽的开口方向与第一振梁和第二振梁的振动方向垂直，所述凹槽的内壁覆盖有第一激励电极，振梁的两侧壁分别覆盖有第二激励电极，第一振梁和第二振梁通过电极与激励电源的连接使两者振动方向相反；U型质量块和C形连接块开口相向并通过第一挠性桥和第二挠性桥将两者端部连接，所述谐振敏感元件位于U型质量块和C形连接块合围形成的区域内，谐振敏感元件两端分别通过第一基部、第二基部与U型质量块开口中部和C形连接块中部连接；C形连接块的背部通过连接梁连接环形连接块；环形连接块两端与第一固定块和第二固定块连接，环形连接块、第一固定块、第二固定块和U型质量块外轮廓整体呈圆形。