发明名称 化合物晶体制造用的坩埚、化合物晶体的制造装置以及使用坩埚的化合物晶体的制造方法
摘要 根据本发明的第一方式,一种氟化物晶体制造用的坩埚,用于氟化物晶体的制造,在氟化物晶体的制造中,使粉状或粒状的氟化物原料在预处理炉中熔化并冷却凝固来制作氟化物的预处理品,使制作的预处理品在晶体培养炉中熔化而培养成晶体,坩埚由下述部件构成:有底筒状的第一部件,由底部和与底部相连的筒部构成;以及中空筒状的第二部件,构成为能够相对于筒部装卸,在将第一部件与第二部件连接时,两者成为一体而形成预处理品制作用的大容积坩埚,在将第一部件与第二部件分离时,通过第一部件形成晶体培养用的小容积坩埚。
申请公布号 CN103717790A 申请公布日期 2014.04.09
申请号 CN201280036617.8 申请日期 2012.07.25
申请人 株式会社尼康 发明人 杉崎秀宪
分类号 C30B11/00(2006.01)I;C30B29/12(2006.01)I 主分类号 C30B11/00(2006.01)I
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人 权太白;谢丽娜
主权项 一种化合物晶体制造用的坩埚,用于化合物晶体的制造,在所述化合物晶体的制造中,使粉状或粒状的化合物原料在预处理炉中熔化后冷却凝固来制作化合物晶体的预处理品,使所述预处理品在晶体培养炉中熔化后培养成化合物晶体,所述坩埚由下述部件构成:第一部件,由底部和与所述底部相连的筒部构成;以及中空筒状的第二部件,能够成为与所述筒部连接的状态和分离的状态这两种状态,在将所述第二部件与所述第一部件连接的状态下形成预处理品制作用的大容积坩埚,在将所述第二部件从所述第一部件分离的状态下形成晶体培养用的小容积坩埚。
地址 日本东京
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