发明名称 氮化物半导体发光器件及其制作方法
摘要 本发明涉及氮化物半导体发光器件及其制作方法。一种用于制作发光器件的方法包括如下步骤:在其中已经使用了含Mg原料的反应器中在衬底上形成包含In的层;以及在包含In的层上形成包括氮化物半导体的有源层。
申请公布号 CN103715314A 申请公布日期 2014.04.09
申请号 CN201310465679.7 申请日期 2013.10.09
申请人 佳能株式会社 发明人 川岛毅士
分类号 H01L33/00(2010.01)I;H01L21/205(2006.01)I 主分类号 H01L33/00(2010.01)I
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人 欧阳帆
主权项 一种用于制作发光器件的方法,所述发光器件具有包括氮化物半导体的有源层,所述方法包括如下步骤:在其中已经使用了含Mg原料的反应器中在衬底上形成包含In的层;以及在包含In的层上形成包括氮化物半导体的有源层。
地址 日本东京