排气系统的稳压装置

摘要

本实用新型公开一种排气系统的稳压装置，通过对内腔体及外腔体结构的设计，在第二内腔壁及第二外腔壁上均设置有通孔，进行排气操作时，内腔体气体压强低于外界气压，在气压差的作用下内腔体缓慢向上移动，随之内腔体与外界接触的通孔个数减少，此时内腔体气体压强缓慢变大，当外腔壁与内腔壁上的通孔重合并且内腔体保持不移动时，此时稳压装置达到稳定状态，由此，避免了进行排气操作时，气体压强波动较大对排气系统及周围化学机台的正常工作造成不良影响，提高了产品良率。

主权项

排气系统的稳压装置，其特征在于，包括：内腔体及外腔体；所述内腔体设置于所述外腔体内；所述内腔体包括：第一内腔壁、与所述第一内腔壁连接的第二内腔壁及与所述第二内腔壁连接的底盘；其中，所述第二内腔壁上设置有多个通孔；所述外腔体包括：第一外腔壁、与所述第一外腔壁连接的第二外腔壁及与所述第二外腔壁连接的第三外腔壁；其中，所述第二外腔壁上设置有多个通孔。