靶材组件的制作方法

摘要

本发明提供了一种靶材组件的制作方法，其包括以下步骤：提供铝靶材；对铝靶材表面进行酸蚀处理；对铝靶材表面进行第一次酸洗处理；对铝靶材表面进行第一次浸锌处理；对铝靶材表面进行第二次酸洗处理；对铝靶材表面进行第二次浸锌处理；利用化学镀工艺，在铝靶材表面上形成金属镀层；将形成有金属镀层的铝靶材焊接至背板，以形成靶材组件。本发明在将铝靶材与背板焊接之前，包括对铝靶材表面进行酸蚀处理、两次酸洗处理、两次浸锌处理，使得化学镀工艺中形成的金属镀层与铝靶材表面具有更好的结合力。然后再利用金属镀层作为中间媒介，使得铝靶材与背板焊接后实现二者的牢固结合，具有较高的结合强度。

主权项

一种靶材组件的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：提供铝靶材；对所述铝靶材表面进行酸蚀处理，以去除铝靶材表面的油污，所述酸蚀处理中使用的酸蚀液为SYC211‑9与H2O的混合溶液，所述SYC211‑9的成分是体积百分比为10%～20%的硫酸溶液；对经过所述酸蚀处理后的铝靶材表面进行第一次酸洗处理，以去除铝靶材表面的氧化物；对经过所述第一次酸洗处理后的铝靶材表面进行第一次浸锌处理；对经过所述第一次浸锌处理后的铝靶材表面进行第二次酸洗处理，所述第二次酸洗处理中使用的酸洗液为HF、HNO3与H2O的混合溶液；对经过所述第二次酸洗处理后的铝靶材表面进行第二次浸锌处理；利用化学镀工艺，在经过所述第二次浸锌处理后的铝靶材表面上形成金属镀层；将形成有金属镀层的铝靶材焊接至背板，以形成靶材组件。