使氢化非晶硅和非晶氢化硅合金稳定化的方法

摘要

形成光伏器件的半导体材料的方法包括：提供含氢化非晶硅的材料的表面，和将含氢化非晶硅的材料在含氘气氛中退火。将来自含氘气氛的氘穿过含氢化非晶硅的材料的表面引入含氢化非晶硅的材料的晶格中。在一些实施方案中，引入含氢化非晶硅的材料的晶格中的氘提高含氢化非晶硅的材料的稳定性。

主权项

形成光伏器件的方法，其包括：提供具有表面的含氢化非晶硅的材料；和将含氢化非晶硅的材料在含氘气氛中退火，其中将氘引入含氢化非晶硅的材料的晶格中。