一种石墨烯图形化掺杂方法

摘要

本发明公开了一种石墨烯图形化掺杂方法，包括如下步骤：（1）将氦气与掺杂气体混合作为工作气体导入等离子体发生装置中，施加高压脉冲电压，在工作气体中放电产生室温常压等离子体，将形成的等离子体由引导管的喷嘴导出，形成微等离子体射流；（2）将喷嘴对准石墨烯薄膜的指定位置，用微等离子体射流对石墨烯薄膜进行辐照，将工作气体的活性原子掺入到被辐照的区域，在二维平面内移动微等离子体射流或石墨烯薄膜，实现对石墨烯的图形化掺杂。该方法可有效地将杂质原子掺入到石墨烯的骨架位置上，且不会对石墨烯的原本结构产生破坏，掺杂过程简单易行，设备成本低廉，可实现大规模生产。

主权项

一种石墨烯图形化掺杂方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）将氦气与掺杂气体混合作为工作气体导入等离子体发生装置中，施加高压脉冲电压，在工作气体中放电产生室温常压等离子体，将形成的等离子体由引导管的喷嘴导出，形成微等离子体射流；（2）将所述喷嘴对准石墨烯薄膜的指定位置，用微等离子体射流对石墨烯薄膜进行辐照，将工作气体的活性原子掺入到被辐照的区域，在二维平面内移动微等离子体射流或石墨烯薄膜，实现对石墨烯的图形化掺杂。