快门装置以及光刻设备

摘要

本实用新型提出一种快门装置，具有一使光束通过的光通道，以及围绕一第一转轴旋转的第一叶片，所述第一转轴位于所述光通道旁，所述第一叶片位于第一静止位置时，所述光束完全通过所述光通道，所述第一叶片位于第二静止位置时，所述光束全不通过所述光通道，所述快门装置还具有一可检测所述第一叶片透光性的第一探测器。本实用新型还提出一种包括所述快门装置的光刻设备。在本实用新型提供的快门装置以及光刻设备中，所述第一探测器通过检测所述第一叶片透光性，可以及时发现所述第一叶片是否被击穿，从而可以保证所述第一叶片可以完全阻挡所述光束，从而提高光刻的准确度，提高产品的良率。

主权项

一种光刻设备的快门装置，其特征在于，所述快门装置具有一使光束通过的光通道，以及围绕第一转轴旋转的一第一叶片，其中，所述第一转轴位于所述光通道旁，所述第一叶片具有第一静止位置以及第二静止位置，所述第一叶片位于所述第一静止位置时，所述光束完全通过所述光通道，所述第一叶片位于所述第二静止位置时，所述光束全不通过所述光通道，所述快门装置还具有一可检测所述第一叶片透光性的第一探测器。