发明名称 组合达曼光栅
摘要 一种组合达曼光栅,将N个满足光栅周期匹配条件的达曼光栅组合在一起,所述的光栅要满足周期匹配条件:当第n个达曼光栅为偶数型光栅,则dn需满足的光栅周期严格匹配条件为:2sin-1(mnλ/dn)+sin-1(2λ/dn)=sin-1(λ/dn-1);当第n个达曼光栅为奇数型光栅,则dn需满足的光栅周期严格匹配条件为:2sin-1(mnλ/dn)+sin-1(λ/dn)=sin-1(λ/dn-1);其中dn为第n个达曼光栅的周期,mn为其边缘衍射级次,n为正整数且n∈N,λ为入射激光波长。本发明对入射光多次衍射可实现相同工艺条件下单个达曼光栅难以实现的分束数量和分束角度,本发明具有使用方便,成本低廉,光点光强均匀等优点,可有力扩展达曼光栅的应用范围,有望在精密测量、机器视觉、航空航天等领域得到广泛的应用。
申请公布号 CN102566056B 申请公布日期 2014.04.09
申请号 CN201210004449.6 申请日期 2012.01.06
申请人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明人 王少卿;周常河;韦盛斌;贾伟;曹红超;麻健勇
分类号 G02B27/10(2006.01)I;G02B5/18(2006.01)I 主分类号 G02B27/10(2006.01)I
代理机构 上海新天专利代理有限公司 31213 代理人 张泽纯
主权项 一种组合达曼光栅,其特征是将N个满足光栅周期匹配条件的达曼光栅共光轴地组合在一起,所述的光栅要满足周期匹配条件为:当第n个达曼光栅为偶数型光栅,则dn需满足的光栅周期严格匹配条件为:2sin‑1(mnλ/dn)+sin‑1(2λ/dn)=sin‑1(λ/dn‑1);当第n个达曼光栅为奇数型光栅,则dn需满足的光栅周期严格匹配条件为:2sin‑1(mnλ/dn)+sin‑1(λ/dn)=sin‑1(λ/dn‑1);其中:dn为第n个达曼光栅的周期,mn为其边缘衍射级次,n为正整数且n∈N,λ为入射激光波长。
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