碳化硅超硬材料高精度大平面的加工方法

摘要

一种碳化硅超硬材料高精度大平面的加工方法，以DMG超声波加工中心为机床，待加工工件面积在40000平方毫米以上，要求面形精度达到8微米以下，包括：第一步，选择刀刃为8-10mm宽的磨头，以小于3mm的步距和小于0.01mm的吃刀量，螺旋方式走刀；第二步，抬刀磨削加工，逐层磨削去除高出部分。本发明保持碳化硅的去除量恒定，保证了刀具轨迹的平滑过渡，减少了刀具的急速换向，减少磨耗磨损、扩散磨损和塑性磨损，提高加工面的质量和精度。

主权项

一种碳化硅超硬材料高精度大平面的加工方法，其特征在于，以DMG超声波加工中心为机床，待加工工件面积在40000平方毫米以上，要求面形精度达到8微米以下，具体包括如下步骤：第一步，选择刀刃为8‑10mm宽的磨头，以小于3mm的步距和小于0.01mm的吃刀量，螺旋方式走刀，到达工件中心时，多磨10mm，此时平面面形呈由中心的内圈向四周的中圈、外圈的高度逐渐降低；第二步，抬刀磨削加工，逐层磨削去除高出部分，具体是：首先，测出平面的最高点，然后抬刀具到最高点处，再下降0.008‑0.01mm，以1‑2mm的步距，对内圈进行磨削；当内圈平面的高度磨至与中圈平面的高度一样时，降低刀具深度0.005‑0.008mm，以0.5‑1mm的步距，对内圈和中圈进行磨削；当中圈平面的高度磨至与外圈平面的高度一样时，再次降低刀具深度0.005mm，以0.5mm的步距，对整个面进行磨削，直至平面度满足要求。