| 发明名称 |
PROCESS FOR MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE AND AN INTERMEDIATE PRODUCT FOR THE MANUFACTURE OF A SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP2715785(A1) |
申请公布日期 |
2014.04.09 |
| 申请号 |
EP20120725043 |
申请日期 |
2012.06.01 |
| 申请人 |
ACCONEER AB |
发明人 |
EGARD, MIKAEL;LIND, ERIK;WERNERSSON, LARS-ERIK |
| 分类号 |
H01L21/336;H01L21/335;H01L21/338;H01L21/8252;H01L29/20;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/51 |
主分类号 |
H01L21/336 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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