| 发明名称 | 含TiO<sub>2</sub>的石英玻璃和使用该石英玻璃的EUV光刻用光学部件 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种TiO2-SiO2玻璃，其中当用作EUVL用曝光工具的光学部件时，在使用高EUV能量的光辐照时热膨胀系数基本为零，并且通过从玻璃中释出氢能够长时间保持多层的物理性能。本发明涉及一种含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的假想温度为1100℃以下，氢分子浓度为1×1016分子/cm3以上，并且线性热膨胀系数为0ppb/℃时的温度处于40至110℃的范围内。 | ||
| 申请公布号 | CN101959812B | 申请公布日期 | 2014.04.09 |
| 申请号 | CN200980106891.6 | 申请日期 | 2009.02.27 |
| 申请人 | 旭硝子株式会社 | 发明人 | 小池章夫;岩桥康臣;菊川信也;桔优子 |
| 分类号 | C03B19/14(2006.01)I;C03C3/06(2006.01)I;C03C4/00(2006.01)I | 主分类号 | C03B19/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人 | 杨海荣;穆德骏 |
| 主权项 | 一种含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的假想温度为1100℃以下，氢分子浓度为5×1017分子/cm3以上，OH浓度为600ppm以上，并且线性热膨胀系数为0ppb/℃时的温度处于40至110℃的范围内。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||