| 发明名称 | 氧化锌前驱体和利用该前驱体沉积氧化锌类薄膜的方法 | ||
| 摘要 | 氧化锌（ZnO）前驱体和利用该前驱体沉积ZnO类薄膜的方法，使用该ZnO前驱体可以沉积高质量和高纯度的ZnO类薄膜。所述ZnO前驱体包括混合溶剂和源材料，所述混合溶剂包含混合的至少两种有机溶剂，所述源材料包括稀释在所述混合溶剂内的二乙基锌或二甲基锌。 | ||
| 申请公布号 | CN103710680A | 申请公布日期 | 2014.04.09 |
| 申请号 | CN201310467148.1 | 申请日期 | 2013.10.09 |
| 申请人 | 三星康宁精密素材株式会社 | 发明人 | 朴洙昊;朴钟世;刘泳祚;李柱永;金序炫;尹根尚;金荣云;申亨秀;尹承镐;李相度;李相益;任相俊 |
| 分类号 | C23C16/40(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/40(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人 | 康泉;王珍仙 |
| 主权项 | 一种氧化锌前驱体，所述氧化锌前驱体包括：混合溶剂，所述混合溶剂包括混合的至少两种有机溶剂；和氧化锌前驱体源材料，所述氧化锌前驱体源材料被稀释在所述混合溶剂中。 | ||
| 地址 | 韩国庆尚北道 | ||