精密控制废热利用高效率无尘室恒温恒湿器的空调装置

摘要

本发明涉及一种对向半导体制造设备的无尘室供给的空气进行过滤并对温度和湿度进行控制的空调装置，特别是涉及一种用于精密控制废热利用高效率无尘室恒温恒湿器的空调装置，其回收从现有的空调系统排放至大气的废热，无需供给相当于该废热能量的另外的能量而调节湿度，将废热再利用线圈及冷凝线圈以分级（STEP）划分为多段，以根据室内负荷或外气负荷的变动而改变蒸发器的除湿负荷，从而能够有效地精密控制冷凝器中发热的热量变化。

主权项

一种精密控制废热利用高效率无尘室恒温恒湿器的空调装置，是一种空气调节系统，该空气调节系统包括：蒸发器，用以对入口空气进行空气调节；冷凝器，构成开/关循环以控制所述蒸发器的制冷容量；导管，用于使制冷剂在所述蒸发器和所述冷凝器之间循环；阀门，用以控制通过所述导管流动的制冷剂的流动路径；蓄热器，位于所述导管之间，用以积蓄随着所述蒸发器和所述冷凝器的动作而产生的热量中的多余的热能；以及压缩机，其特征在于，所述冷凝器设置有多个制冷剂冷凝单元，其均等地分配到流入的制冷剂并分别进行冷凝动作，在各个制冷剂冷凝单元的后端设置有用以根据控制信号而开关制冷剂排放的多个阀门，从而能够精密控制制冷剂冷凝效率；所述空调装置包括：再加热器，其设置有多个制冷剂再加热单元，根据随着所述蓄热器和所述压缩机的动作和所述蒸发器的动作而排放的废热的程度，根据控制信号再加热制冷剂，从而调节制冷剂的膨胀以影响排放的空气温度，其均等地分配到流入的制冷剂并分别进行再加热动作，在各个所述制冷剂再加热单元的前端设置有用以根据控制信号而开关制冷剂排放的多个阀门，从而能够精密控制制冷剂加热效率，多个螺线管阀门，其位于将随着所述蓄热器和所述压缩机的动作而排放的废热供给到所述再加热器侧的导管之间，用以控制向所述再加热器侧传送的制冷剂的量，以及加湿器，其用以向已进行空气调节的入口空气中被选择的一部分分布微细水滴，以影响排放的空气湿度。