氧化铝单晶生长设备的底盘

摘要

本实用新型涉及一种氧化铝单晶生长设备的底盘，包含由上底板、下底板、筒节构成的底盘主体；所述上底板、所述下底板与所述筒节之间形成腔体；所述氧化铝单晶生长设备的底盘还包含：设置在所述腔体内的导流板，所述导流板抵在所述上底板和所述下底板之间；所述氧化铝单晶生长设备的底盘还包含：插入所述下底板的进水管和出水管，所述进水管通过所述腔体与所述出水管导通。同现有技术相比，由于在腔体内设置了导流板，导流板是抵在上底板和下底板之间，通过导流板可对底盘的内部进行支撑，从而加强了底盘的强度，进一步防止底盘由于长期因氧化铝单晶生长设备的重力影响产生应力变形。

主权项

一种氧化铝单晶生长设备的底盘，包含由上底板、下底板、筒节构成的底盘主体；所述上底板、所述下底板与所述筒节之间形成腔体，其特征在于：所述氧化铝单晶生长设备的底盘还包含：设置在所述腔体内的导流板，所述导流板抵在所述上底板和所述下底板之间；所述氧化铝单晶生长设备的底盘还包含：插入所述下底板的进水管和出水管，所述进水管通过所述腔体与所述出水管导通。