一种带工艺保护端的子锭硅棒

摘要

本实用新型公开了一种带工艺保护端的子锭硅棒，它由硅片切割区段和设置在硅片切割区段两端的工艺保护段组成。由于在待切片子锭硅棒的两端预留了工艺保护段，在切割过程中，位于子锭硅棒两头的工艺保护段对最外端的硅片起到保护作用，不仅避免在硅片切割过程中因子锭硅棒两端斜坡导致切割钢丝断线，而且能有效防止最外侧的硅片出现裂片、缺角、崩边等缺陷，既能保证硅棒的出片率和硅片的合格率，又能有效防止切割钢丝因受力不均而导致的断线缺陷。

主权项

一种带工艺保护端的子锭硅棒，其特征是：包括硅片切割区段（11）和工艺保护段（12），在硅片切割区段（11）两端留有工艺保护段（12）。