新型固晶机焊臂驱动装置

摘要

本实用新型公开一种新型固晶机焊臂驱动装置，包括设有平行移动电机的电机基座，位于该电机基座的端部设有垂直移动电机，该平行移动电机的转轴设有焊臂连接座，该焊臂连接座外侧周围均匀分布有多个焊臂，每个焊臂包括设有晶圆吸嘴的焊臂本体，所述平行移动电机和垂直移动电机分别与控制模块连接。由平行移动电机将焊臂移动至所需位置后，再由垂直移动电机使焊臂连接座向下移动，再通过设于焊臂本体和吸嘴支架之间的滑动气缸精确调节晶圆吸嘴的位置拾起晶圆进行后续键合操作。通过适当的调节和控制，在平行移动电机在平行移动时，该垂直移动电机使焊臂向下移动到适当的位置，可以避免在平行移动时，垂直移动电机完全空闲状态，减少移动时间，提高焊接效率。

主权项

新型固晶机焊臂驱动装置，包括设有平行移动电机的电机基座，其特征在于：位于该电机基座的端部设有垂直移动电机，该平行移动电机的转轴设有焊臂连接座，该焊臂连接座外侧周围均匀分布有多个焊臂，每个焊臂包括设有晶圆吸嘴的焊臂本体，所述平行移动电机和垂直移动电机分别与控制模块连接。