一种光电探测器件转移制作系统及制作方法

摘要

本发明提供一种光电探测器件转移制作系统及制作方法，包括阴极腔、阳极腔、工作传递腔、转移传递系统、烘箱及抽真空系统，阴极腔、阳极腔、工作传递腔之间通过阀门隔开，阴极腔和阳极腔分别位于工作传递腔两侧，转移传递系统包括水平传递系统和升降系统，水平传递系统包括阳极组件放置装置、阴极组件放置装置及水平传递装置，利用该制作系统进行光电探测器件制作时，除阳极组件组装过程外，其余工艺过程均在超高真空的清洁环境内完成，防止制作过程对倍增管核心器件造成污染；MCP阳极组件处理与光电阴极制作工艺相互独立，避免非阴极部分受阴极碱金属污染，保证MCP处于最佳性能工作状态。

主权项

一种光电探测器件转移制作系统，其特征在于：包括阴极腔、阳极腔、工作传递腔、转移传递系统、烘箱及抽真空系统，所述阴极腔、阳极腔、工作传递腔之间通过阀门隔开，所述阴极腔和阳极腔分别位于工作传递腔两侧，所述阴极腔、阳极腔的上方均设置有装件口，所述工作传递腔上方设置有用于安装倍增管玻壳的铟封法兰，所述铟封法兰与工作传递腔之间设置有阀门，所述烘箱罩于工作传递腔上方，所述抽真空系统用于对阴极腔、阳极腔、工作传递腔及倍增管玻壳抽真空，所述转移传递系统包括水平传递系统和升降系统，所述水平传递系统包括阳极组件放置装置、阴极组件放置装置及水平传递装置，所述阳极组件放置装置包括转动驱动组件、工位转盘以及至少一个组件盘，所述组件盘圆周均布在工位转盘上，所述组件盘用于放置阳极组件，所述转动驱动组件驱动工位转盘转动，所述组件盘上纵向设置有第一通孔，所述组件盘的侧壁上上设置有挂钩，所述挂钩位于工位转盘的外侧且伸出工位转盘；所述阴极组件放置装置与阳极组件放置装置结构相同，所述阴极组件放置装置与阳极组件放置装置分别位于水平传递装置的两端，所述阴极组件放置装置的组件盘用于放置阴极组件；所述水平传递装置位于工作传递腔内，包括固定拖板、滑动拖板、阀门过桥、连接板及传动机构，所述固定拖板上设置有导轨，所述传动结构位于固定拖板的至少一侧，所述连接板的一端与传动机构连接，所述连接板的另一端与滑动拖板连接，所述连接板在传动机构的驱动下沿导轨运动带动滑动拖板沿导轨运动，所述滑动拖板的两端设置有与组件盘上挂钩相配合的凹槽；所述阀门过桥对称设置在固定拖板两端，所述阀门过桥包括过桥板、转轴以及驱动机构，所述转轴设置固定拖板上，所述过桥板固定在转轴上；所述驱动机构驱动转轴转动实现过桥板的折叠与展开；所述固定拖板上设置有第二通孔；所述升降系统的动力输出端能够穿过第一通孔和第二通孔，驱动组件盘做升 降运动。