板状体保持机构、基板贴合装置以及基板贴合方法

摘要

板状体保持机构保持配置在能将真空室设定为比大气压低的第1压力的真空容器内的显示基板，具备载置部、配管、第2真空泵以及压力平衡器。载置部在上表面具有吸盘，载置显示基板。配管的一端部与吸盘的筒孔连通。第2真空泵连结到配管的另一端部，抽吸配管内的气体。压力平衡器具有：连通部，其形成有将真空室和配管内连通的连通孔；以及盖部，其在真空容器的内压比配管的内压低时打开连通孔，在真空容器的内压比配管的内压高时关闭连通孔。

主权项

一种板状体保持机构，用于保持矩形板状的板状体，上述矩形板状的板状体配置在真空容器内，上述真空容器的内压能设定为比大气压低的第1压力，上述板状体保持机构具备：载置部，其配置在上述真空容器内，在形成有抽吸开口的上表面载置上述板状体；配管，其一端部与上述抽吸开口连通；抽吸部，其连结到上述配管的另一端部，进行以下抽吸动作：抽吸上述配管内的气体，将上述配管的内压设定为比大气压低且比上述第1压力高的第2压力；以及压力平衡器，其设置在上述真空容器内，具有：连通部，其形成有将上述真空容器内和上述配管内连通的连通孔；以及盖部，其在上述真空容器的内压比上述配管的内压低时打开上述连通孔，在上述真空容器的内压比上述配管的内压高时关闭上述连通孔。