用于接合衬底的装置和方法

摘要

本发明涉及一种装置，所述装置用于接合、尤其是临时接合第一衬底(15)与第二衬底，所述装置具有以下特征：-装配装置，所述装配装置用于利用所述装配装置的有效装配面(7，7'，7"，7'"，7IV)来在装配轮廓(8，8'，8"，8"'，8IV)上装配所述第一衬底(15)，其具有用于可控制地固定所述第一衬底(15)的外环区段(10)，-变形装置，所述变形装置用于可控制地使所述第一衬底(15)变形，其中，所述变形装置可操作地构造在所述外环区段内，以及-用于接合所述第一衬底(15)与所述第二衬底()的接合装置。此外，本发明涉及一种用于接合、尤其是临时接合第一衬底(15)与第二衬底的方法，所述方法具有以下步骤、尤其是以下流程：-利用所述装配装置(1)的有效装配面(7，7'，7"，7'"，7IV)来在装配轮廓(8，8'，8"，8"')上装配第一衬底(15)，其具有用于可控制地固定所述第一衬底(15)的外环区段(10)，-通过用于可控制地使所述第一衬底(15)变形的变形装置使所述第一衬底(15)在所述外环区段内变形，-通过接合装置来接合所述第一衬底(15)与所述第二衬底。

主权项

一种用于接合、尤其是临时接合第一衬底(15)与第二衬底的装置，所述装置具有以下特征：‑ 装配装置，所述装配装置用于利用所述装配装置的有效装配面(7，7'，7"，7'"，7IV)来在装配轮廓(8，8'，8"，8"'，8IV)上装配所述第一衬底(15)，其具有用于可控制地固定所述第一衬底(15)的外环区段(10)，‑ 变形装置，所述变形装置用于可控制地使所述第一衬底(15)变形，其中，所述变形装置可操作地构造在所述外环区段内，以及‑ 用于接合所述第一衬底(15)与所述第二衬底(15')的接合装置。