旋转显影真空管路中的简易气液分离装置

摘要

本发明属于半导体行业光刻工艺基本步骤中的旋转显影过程领域，具体地说是一种旋转显影真空管路中的简易气液分离装置，包括筒体、筒盖及活动塞，筒体的一端与筒盖密封连接，另一端开有排液口，活动塞插设在排液口内，通过活动塞沿筒体轴向往复移动控制排液口的开关；筒盖上分别开有进气口及排气口，筒盖上沿筒体轴向向筒体延伸、形成竖隔板，竖隔板上沿径向设有横隔板，该隔板上开有供气液介质通过的通孔；气液介质通过横隔板折流分离，液体经过通孔，由排液口排出。本发明在筒体内设置了横、竖隔板，利用气液比重的不同，将显影液分离，很大程度上减少了化学液对真空管路的腐蚀问题，清洁了真空管路。

主权项

一种旋转显影真空管路中的简易气液分离装置，其特征在于：包括筒体（1）、筒盖（3）及活动塞（4），其中筒体（1）的一端与筒盖（3）密封连接，另一端开有排液口（13），所述活动塞（4）插设在排液口（13）内，通过活动塞（4）沿筒体（1）轴向往复移动控制排液口（13）的开关；所述筒盖（3）上分别开有进气口（7）及排气口（8），筒盖（3）上沿筒体（1）轴向向筒体（1）延伸、形成竖隔板（9），所述竖隔板（9）上沿径向设有横隔板，该隔板上开有供气液介质通过的通孔（12）；气液介质通过横隔板折流分离，液体经过通孔（12），由排液口（13）排出。