加工表面高平坦化方法及其装置

摘要

在物体加工表面的高平坦化方法中，在研磨工具的接触表面上设计制作具有形状大小为1～100μm、深度为1～5μm以及所占接触表面的密度为20～50%的微米凹痕图形，并在研磨工具和加工物体接触表面间添加颗粒大小为0.1～6μm的研磨剂，使两接触表面间形成摩擦接触运动的粒子研磨，在各种材料加工表面中获得全局的高平坦化的超精密平整加工表面。

主权项

1.在物体加工表面的高平坦化方法中，在研磨工具（1）的接触表面（6）上设计制作具有形状大小为1～100、深度为1～5以及占接触表面积的密度为20～50%的微米凹痕图形（2）；并在研磨工具（1）和加工物体接触表面间添加颗粒大小为0.1～6的研磨剂，使两接触表面间形成摩擦接触运动的粒子研磨过程为特征的，在各种材料加工表面的超精密平整加工中获得全局的高平坦化方法。