具有改善的温度范围的薄膜

摘要

本发明披露了器件和形成所述器件的方法。所述器件包含基底和薄膜。所述基底的特征为具有第一热膨胀系数。所述薄膜与基底的表面连接，并且特征为具有第二热膨胀系数。所述薄膜包含呈压缩状态的第一层和第二层，和呈拉伸状态的第三层，所述第三层位于第一层和第二层之间。所述薄膜在一定温度范围内为净拉伸状态。

主权项

器件，其包含：特征为具有第一热膨胀系数(CTE)的基底，所述基底具有表面；和与所述表面连接的薄膜，所述薄膜的特征为具有不同于所述第一CTE的第二CTE；所述薄膜包含：呈压缩状态的第一层和第二层；和呈拉伸状态的第三层，所述第三层位于所述第一层和第二层之间；其中在整个温度范围内所述薄膜对所述基底施加净拉伸力。