一维离面相移电子散斑干涉仪

摘要

本实用新型公开了一种一维离面相移电子散斑干涉仪，包括水平布置的光学平台，该光学平台上布置有：用于固定受检物的测试架、激光发射装置和CCD摄像机，所述测试架上设置有用于向所述受检物施加荷载的加载装置，所述CCD摄像机与计算机电连接。本实用新型这种干涉仪结构简单合理，测量精度高，测量速度快。

主权项

一种一维离面相移电子散斑干涉仪，其特征在于：它包括水平布置的光学平台，该光学平台上布置有：用于固定受检物的测试架（2）、激光发射装置（12）和CCD摄像机（3），所述CCD摄像机（3）与计算机电连接，还包括向所述受检物施加荷载的加载装置； 所述激光发射装置（12）包括带有内腔的壳体（4），该壳体（4）内设置有激光器（5）、分光镜（6）和反光镜（7），该壳体（4）的壳体壁上开设有两个透光孔（8），其中一个透光孔（8）处布置有位于壳体外部的扩束镜（9），另一个透光孔（8）处布置有位于壳体外部的光纤接口（10），该光纤接口（10）上接有一根与所述CCD摄像机（3）相连的光导纤维； 所述激光器（5）发出的激光经所述分光镜（6）分成两束，其中一束经过所述光导纤维传递给CCD摄像机（3）作为参考光，另一束依次经过所述反光镜（7）的反射、所述扩束镜（9）的扩束后、所述受检物的反射后，射向所述CCD摄像机（3）作为物光。