发明名称 TFT阵列基板的电容及其制造方法和相关设备
摘要 本发明公开了一种TFT阵列基板的电容及其制造方法,以及使用该电容的移位寄存器、栅极驱动器、阵列基板及显示装置。TFT阵列基板包括依次形成在玻璃基板上的TFT栅极层、栅极绝缘层、第一ITO层、TFT有源层、TFT源漏层、钝化层和第二ITO层,电容由该第一ITO层(5)、钝化层(3’)和第二ITO层(6)构成。此外,电容区域的第二ITO层(6)与TFT栅极层(2)相连,由此构成两个并联的电容,或者,电容区域的第一ITO层(6)与述TFT栅极层(2)相连,也能构成两个并联的电容。本发明减小了TFT阵列基板的电容所占的空间,减小了移位寄存器的尺寸,适合于窄边框。
申请公布号 CN103715207A 申请公布日期 2014.04.09
申请号 CN201310753392.4 申请日期 2013.12.31
申请人 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 发明人 李小和;邵贤杰
分类号 H01L27/12(2006.01)I;H01L23/522(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I 主分类号 H01L27/12(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 宋焰琴
主权项 一种TFT阵列基板的电容,所述TFT阵列基板包括形成在衬底基板上的TFT栅极层、栅极绝缘层、第一ITO层、TFT有源层、TFT源漏层、钝化层和第二ITO层,其特征在于,所述电容由该第一ITO层(5)、钝化层(3’)和第二ITO层(6)构成。
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