探针装置

摘要

本实用新型公开了一种探针装置，其包含力臂、探针座、探针和至少一个感应元件。力臂的一端用以固定在点测机上。力臂具有贯穿的镂空区，且力臂为一体成型的金属块。探针座连接于力臂相对于点测机的另一端。探针连接于探针座相对于力臂的另一端。感应元件位于力臂上。当力臂受力而变形时，感应元件随力臂的变形量而产生观测值变化。本实用新型探针装置可以提升测量针压的准确度，且灵敏度高，故不会使晶圆上升过冲，进而不会使得探针装置上的探针损坏晶圆；还可以使得探针装置上的探针减少磨损。

主权项

一种探针装置，其特征在于，包含：力臂，其一端用以固定在点测机上，其中所述力臂具有贯穿的镂空区，且所述力臂为一体成型的金属块；探针座，其连接于所述力臂相对于所述点测机的另一端；探针，其连接于所述探针座相对于所述力臂的另一端；以及至少一个感应元件，其位于所述力臂上，其中当所述力臂受力而变形时，至少一个所述感应元件随所述力臂的变形量而产生观测值变化。