发明名称 |
一种半导体薄膜生长设备 |
摘要 |
本实用新型公开了一种半导体薄膜生长设备,该生长设备适用于化学气相沉积工艺进行半导体薄膜的生长。所述半导体薄膜生长设备,其包括:载气装置、液态源装置、生长室、旁路以及真空系统,这些部件之间通过管道按一定的逻辑关系连结成一个整体;且每条管道可独立的打开或关闭。所述液态源装置包括多个源瓶,安装在一个惰性气体控制柜里,其中源瓶安装在恒温槽里,通过载气鼓泡法将液态源输送至生长室,并在生长室中进行化学反应合成所需半导体薄膜。所述载气直接通过主管道进入生长室,并通过打开或关闭旁路控制生长室气源,以达到控制薄膜生长以及切换过程中平衡生长室压力的目的。 |
申请公布号 |
CN203530429U |
申请公布日期 |
2014.04.09 |
申请号 |
CN201320445673.9 |
申请日期 |
2013.07.25 |
申请人 |
中国科学院半导体研究所 |
发明人 |
刘兴昉;刘斌;郑柳;董林;刘胜北;闫果果;孙国胜;曾一平 |
分类号 |
C23C16/455(2006.01)I;C23C16/448(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I;C30B25/02(2006.01)I;C30B25/14(2006.01)I;C30B25/16(2006.01)I;C30B29/68(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/455(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
宋焰琴 |
主权项 |
一种半导体薄膜生长设备,其特征在于,包括:载气装置、液态源装置、生长室、旁路以及真空系统,所述载气装置依次通过手阀、单向阀以及流量计后与第一、第七和第八管道连接,其中第一管道进一步与第二管道和第三管道连接,第七管道进一步与生长室连接,第八管道进一步与旁路连接;所述液态源装置的入口端与第三管道连接,出口端与第四管道连接;第四管道与第五管道和第六管道连接,第六管道进一步与旁路连接;所述第五管道通过第七管道连接到生长室;所述生长室与真空系统、泵连接;其中,通过打开和关闭所述载气装置与生长室和旁路之间的管道,控制生长室气源。 |
地址 |
100083 北京市海淀区清华东路甲35号 |