一种基板真空干燥装置和基板真空干燥方法

摘要

本发明公开了一种基板真空干燥装置，包括：腔体、供气部、排气部和加热部，所述腔体设置有至少一进气口和至少一个排气口；所述腔体用于容置基板；所述供气部通过第一传输通道与所述腔体的所述进气口连接，向所述腔体内供给干燥气体；所述排气部通过第二传输通道与所述腔体的所述排气口连接，用于抽出所述腔体内的气体，使所述腔体内形成真空；所述加热部设置于所述腔体内，用于加热所述基板。本发明有益效果如下：通过在真空干燥腔体内设置加热盘，提高真空干燥的性能，减小基板在后续的干燥工艺所受气流的影响。本发明还公开了一种基板真空干燥方法。

主权项

一种基板真空干燥装置，其特征在于，包括：腔体、供气部、排气部和加热部，所述腔体设置有至少一进气口和至少一个排气口；所述腔体用于容置基板；所述供气部通过第一传输通道与所述腔体的所述进气口连接，向所述腔体内供给干燥气体；所述排气部通过第二传输通道与所述腔体的所述排气口连接，用于抽出所述腔体内的气体，使所述腔体内形成真空；所述加热部设置于所述腔体内，用于加热所述基板。