多晶硅铸锭炉热场结构

摘要

本实用新型公开了一种能够提高加热效率和熔化效率的多晶硅铸锭炉热场结构。该多晶硅铸锭炉热场结构包括炉体，所述炉体内设置有下托保温板与保温罩，保温罩与下托保温板共同构成保温隔热笼，所述保温罩上连接有升降杆，所述保温隔热笼内设置有坩埚、坩埚护板、石墨底板、石墨盖板、侧部加热器、顶部加热器、热交换平台，所述侧部加热器的底部与石墨底板上表面之间的距离为23cm～27mm，这种安装方式下形成的热场，使得在长晶阶段形成的晶花大小均匀一致，同时晶向的方向也较为规律，保证最后形成的铸锭质量和性能都较好，而且可以大大缩短硅料的加热时间和熔化时间，提高了加热效率和熔化效率。适合在多晶硅生产设备领域推广应用。

主权项

多晶硅铸锭炉热场结构，包括炉体（1），炉体（1）上设置有抽气孔（2），所述炉体（1）内设置有下托保温板（3）与保温罩（4），保温罩（4）放置在下托保温板（3）上，保温罩（4）与下托保温板（3）共同构成保温隔热笼，所述保温罩（4）上连接有能够使保温罩（4）上下移动的升降杆（5），所述保温隔热笼内设置有坩埚（6）、坩埚护板（7）、石墨底板（8）、石墨盖板（9）、侧部加热器（10）、顶部加热器（11）、热交换平台（12），所述石墨底板（8）放置在热交换平台（12）上，坩埚（6）放置在石墨底板（8）上，坩埚护板（7）设置在坩埚（6）外侧，侧部加热器（10）设置在坩埚护板（7）的外侧，石墨盖板（9）设置在坩埚（6）上方，顶部加热器（11）设置在石墨盖板（9）上方，所述热交换平台（12）通过石墨立柱（22）固定在炉体（1）底部，坩埚护板（7）的上端设置有尾气排放孔（13），还包括进气管（14），所述进气管（14）依次穿过炉体（1）、保温罩（4）、顶部加热器（11）、石墨盖板（9）后伸入坩埚（6）内，其特征在于：所述侧部加热器（10）的底部与石墨底板（8）上表面之间的距离为23cm～27cm。