化学气相沉积法涂层系统及工艺

摘要

本发明涉及化学气相沉积法涂层系统及工艺。采用的技术方案是：涂层工艺如下：将基体置于托盘内，然后将托盘码于支撑筒内的沉积区；控制系统控制不同的反应气体分别经气体入口引入气体混合室；混合后的反应气体经进气管进入反应炉内，经预热区预热，挡板和隔板的分散，进入沉积区；控制系统控制加热炉升温，控制沉积区反应温度为900～2000℃，于常压下对基体涂层；产生的尾气经排气帽、尾气入口Ⅰ，预热板和尾气出口Ⅰ进入点火装置，中和液经喷淋装置喷淋，吸收中和尾气，净化后的尾气经尾气出口Ⅱ排出，吸收液经吸收液出口收集，集中处理。采用本发明，基体涂层具有较高的均匀度和附着力，提高了产品的耐磨损性和耐缺损性，保护了环境。

主权项

化学气相沉积法涂层系统，其特征在于：由控制系统（1）、气体混合室（2）、加热炉（4）、反应炉（5）和尾气吸收塔（16）组成；气体混合室（2）上设有若干气体入口（3）；反应炉（5）置于加热炉（4）内；反应炉（5）内设有支撑筒（7），支撑筒（7）的上端连接排气帽（6），支撑筒（7）内从上向下依次分为沉积区、气体分配区和预热区；沉积区内：设有若干托盘（8），托盘（8）上设有若干通气孔Ⅰ；气体分配区内：设有挡板（10），挡板（10）上端安装至少三层隔板（9），隔板（9）上设有若干通气孔Ⅱ；预热区内：安装若干层预热板（13），进气管（11）的出气端与气体分配区相通，支撑筒（7）在预热区部位的下端设有尾气入口Ⅰ（12），预热区的下端设有尾气出口Ⅰ（14）；气体混合室（2）的出气口经管路与进气管（11）的进气端连接；尾气吸收塔（16）上端设有尾气出口Ⅱ（15），尾气出口Ⅱ（15）通过管路与引风机（22）连接，尾气吸收塔（16）下端分别设有尾气入口Ⅱ（19）和吸收液出口（21），点火装置（20）安装在尾气入口Ⅱ（19）的下端，在尾气吸收塔（16）内尾气入口Ⅱ（19）的上端安装伞形挡板（18），尾气吸收塔（16）内上下两端安装喷淋装置（17）；尾气出口Ⅰ（14）经管路与点火装置（20）连接。