一种合格晶粒分布图的生成方法和装置

摘要

本发明提供了一种合格晶粒分布图的生成方法，包括如下步骤：获取针对同一片晶圆的探针测试结果和缺陷检测结果；设置第三坐标系，在所述第三坐标系中定义晶粒的探针测试结果分布区域，将缺陷检测结果转换到所述第三坐标系中；对于表示在所述第三坐标系中每一个晶粒所在的坐标位置，将探针测试的指示值与缺陷检测的指示值进行逻辑运算，得到该坐标位置最终的指示值；根据晶圆上的每一个晶粒的最终指示值确定该晶粒的显示方式并生成合格晶粒分布图。本发明还提供了一种合格晶粒分布图的生成装置。本发明方案可以很大程度上减少了人工操作，大大提高了晶圆测试和出货的效率和精确性。

主权项

一种合格晶粒分布图的生成方法，其特征在于，包括如下步骤：获取针对同一片晶圆的探针测试结果和缺陷检测结果，所述探针测试结果包含基于第一坐标系的晶圆上每一个晶粒的坐标位置及其对应的指示值，所述缺陷检测结果包含基于第二坐标系的晶圆上的每一个晶粒的坐标位置及其对应的指示值；设置第三坐标系，在所述第三坐标系中定义晶粒的探针测试结果分布区域，用第一存储空间存储基于第三坐标系的探针测试结果；将缺陷检测结果转换到所述第三坐标系中，用第二存储空间存储缺陷检测结果；对于表示在所述第三坐标系中每一个晶粒所在的坐标位置，将第一存储空间中存储的探针测试的指示值与第二存储空间中存储的缺陷检测的指示值进行逻辑运算，得到该坐标位置最终的指示值；遍历晶圆上的每一个晶粒在第三坐标系的坐标位置，判断所述坐标位置最终的指示值表示缺陷还是合格，若是缺陷，用第一显示方式显示该晶粒，若是合格，用第二显示方式显示该晶粒；遍历完成后，根据每个晶粒的显示方式生成合格晶粒分布图。