| 摘要 |
L'invention concerne un système de mesure comprenant un réseau de résonateurs de type nano-système électromécanique (NEMS), caractérisé en ce que :•chacun desdits résonateurs comprend : - un dispositif d'actionnement électrostatique apte à générer une vibration d'une poutre sous l'effet dudit signal d'excitation, - au moins une jauge de contrainte piézorésistive en matériau semi-conducteur dopé, s'étendant à partir de la poutre de sorte à détecter un déplacement de ladite poutre, la variation de résistance électrique de ladite au moins une jauge fournissant un signal de sortie,•ledit réseau comprend au moins deux groupes de résonateurs, chaque groupe comprenant au moins deux résonateurs présentant une fréquence de résonance à vide identique, chaque groupe de résonateurs présentant une fréquence de résonance à vide différente de celle de chaque autre groupe,•les résonateurs formant chaque groupe sont connectés en parallèle,•les groupes de résonateurs formant ledit réseau sont connectés en parallèle,•ledit système comprend un dispositif de lecture conçu pour fournir un signal d'excitation à l'entrée du réseau et pour déterminer la fréquence de résonance d'un groupe de résonateurs sélectionné en injectant dans ledit signal d'excitation une composante fréquentielle correspondant à la fréquence de résonance à vide de chaque groupe de résonateurs sélectionné et en identifiant, dans le signal de sortie du réseau, une composante fréquentielle de résonance du groupe de résonateurs sélectionné. |
