| 摘要 |
<p>Es wird ein Sensor (10) zur Detektion von Teilchen, insbesondere von Rußpartikeln, vorgeschlagen. Der Sensor (10) umfasst mindestens zwei Messelektroden (16) und ein Heizelement (14). Die Messelektroden (16) sind auf einem Chip (18) aus einem elektrisch isolierenden Werkstoff bzw. auf diesem über eine elektrisch isolierende Zwischenschicht angeordnet. Der Sensor (10) umfasst ferner ein keramisches Substrat (12), auf dem das Heizelement (14) angeordnet ist. Der Chip (18) ist mit dem keramischen Substrat (12) verbunden. Der Chip (18) besteht aus einem Material mit hoher Wärmeleitfähigkeit.</p> |
