质量鉴别器

摘要

质量鉴别器。公开了一种用于质量鉴别的分析装置。该分析装置包括：样本室，其用于保持气态样本；分析室，其被设置成接收来自所述样本室的样本气体；质量鉴别器，其被设置成在所述分析室中在从所述样本气体产生的多个离子种类之间进行鉴别；以及壁部，其将所述样本室与所述分析室隔开，所述壁部包括能够控制成裂开并由此将样本气体从所述样本室释放到所述分析室的裂开区。在一个实施方式中，所述裂开区在施加电流或机械力时裂开。所述壁部可以是微加工的。还公开了一种质量鉴别方法。

主权项

一种利用分析装置的质量鉴别方法，所述分析装置包括样本室和通过壁部与所述样本室隔开的分析室，所述壁部包括能够控制成裂开的裂开区，所述分析室初始时被抽空，所述质量鉴别方法包括以下步骤：将气态样本引入到所述样本室中；使所述壁部在所述裂开区裂开，从而在所述壁部中产生第一孔，以将所述样本穿过所述壁部释放到所述分析室中；在使所述壁部裂开的步骤之后使所述分析室中的压力上升；通过在多个电极上施加电压来从释放到所述分析室中的气态样本产生多个离子种类；以及在从样本气体产生的所述多个离子种类之间进行鉴别，其中，所述壁部中的第一孔和/或所述多个电极之间的第二孔的被调整尺寸以控制从所述样本室流动到所述分析室的所述气态样本，并且产生多个离子种类的步骤包括产生与从所述第一孔和/或第二孔流动的气态样本的压力波一致的放电。