一种节省钢线的多晶硅片切割方法

摘要

一种节省钢线的多晶硅片切割方法，将切割钢线从放线轮放出后经过前滑轮再从进线导轮进线在出线导轮出线，经过后滑轮缠绕在收线轮上，电器控制系统控制包括放线轮、进线导轮、出线导轮和收线轮的钢线传动机构带动切割钢线在进线导轮和出线导轮之间高速正反向间隔交替直线移动，对多晶硅锭进行切割，在切割过程中，由电器控制系统交替控制放线轮、进线导轮、出线导轮和收线轮的转动方向；钢线传动机构按顺时针转动一个单位时间后，电器控制系统将钢线传动机构按逆时针转动0.55～0.65个单位时间，如此循环进行，既能减少切割钢线的用量，又能充分利用砂浆中的碳化硅切割颗粒的切割作用，从而节省了砂浆的用料，降低多晶硅片加工成本。

主权项

一种节省钢线的多晶硅片切割方法，其特征是：按现有技术将切割钢线（7）从放线轮（1）放出后经过前滑轮（2）再从进线导轮（3）进线在出线导轮（4）出线，然后经过后滑轮（5）缠绕在收线轮（6）上，由电器控制系统控制包括放线轮（1）、进线导轮（3）、出线导轮（4）和收线轮（6）的钢线传动机构带动切割钢线（7）在进线导轮（3）和出线导轮（4）之间高速正反向间隔交替直线移动，高速移动的切割钢线（7）携带砂浆中碳化硅颗粒对多晶硅锭进行切割，在切割过程中，由电器控制系统交替控制放线轮（1）、进线导轮（3）、出线导轮（4）和收线轮（6）的转动方向；在钢线传动机构按顺时针转动一个单位时间后，由电器控制系统控制钢线传动机构按逆时针转动0.55～0.65个单位时间，在钢线传动机构按顺时针转动过程中，切割钢线（7）从放线轮（1）放线，由收线轮（6）收线，钢线传动机构按逆时针转动过程中，切割钢线（7）从收线轮（6）放线，由放线轮（1）收线，如此往复循环交替进行。