| 发明名称 | 一种光罩拿取装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种光罩拿取装置，其包括一个支架和一个用于产生真空的注射器，所述支架带有用于吸住光罩的真空吸盘，所述注射器上带有用于固定注射器活塞的阻挡部件，所述真空吸盘上有若干真空孔，且所述注射器通过真空管连接所述真空孔。通过本实用新型所述的光罩拿取装置可以简单安全地从机台拿取光罩，还能够避免碰触到光罩的薄膜。 | ||
| 申请公布号 | CN203510080U | 申请公布日期 | 2014.04.02 |
| 申请号 | CN201320678553.3 | 申请日期 | 2013.10.30 |
| 申请人 | 武汉新芯集成电路制造有限公司 | 发明人 | 姚佳辉;陈培刚 |
| 分类号 | B25B27/00(2006.01)I | 主分类号 | B25B27/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人 | 杨立 |
| 主权项 | 一种光罩拿取装置，其特征在于，包括一个支架和一个用于产生真空的注射器，所述支架带有用于吸住光罩的真空吸盘，所述注射器上带有用于固定注射器活塞的阻挡部件，所述真空吸盘上有若干真空孔，且所述注射器通过真空管连接所述真空孔。 | ||
| 地址 | 430205 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号 | ||