皮秒激光加工装置

摘要

本实用新型涉及激光蚀刻机技术领域，尤指一种皮秒激光加工装置，包括机架，机架安装有皮秒激光器，所述机架还安装有Z轴升降台，皮秒激光器的输出端连接有第一反射镜，所述Z轴升降台设有振镜、场镜以及可从第一反射镜接收激光束的第二反射镜，振镜分别与第二反射镜和场镜连接，所述Z轴升降台还安装有可对工件进行定位和聚焦的CCD视觉系统；本实用新型提供了一种皮秒激光加工装置，其结构简单，可以对工件准确定位和聚焦，并且能够使激光的焦点准确定位于工件表面，工件的加工质量较高。

主权项

一种皮秒激光加工装置，包括机架，机架安装有皮秒激光器，其特征在于，所述机架还安装有Z轴升降台，皮秒激光器的输出端连接有第一反射镜，所述Z轴升降台设有振镜、场镜以及可从第一反射镜接收激光束的第二反射镜，振镜分别与第二反射镜和场镜连接，所述Z轴升降台还安装有可对工件进行定位和聚焦的CCD视觉系统。