双螺旋籽晶杆设备及使用该设备的晶体生长炉

摘要

双螺旋籽晶杆设备及使用该设备的晶体生长炉。 一种能够避免晶体生长过程中籽晶杆断裂损坏生长炉坩埚的新型籽晶杆设备。它是在晶体生长炉保温盖上连接籽晶杆，将籽晶杆下端与籽晶夹头上端用同方向的螺旋套管固定起来，籽晶夹头与籽晶连接。使用双螺旋籽晶杆的晶体生长炉，在晶体生长过程中，籽晶杆，籽晶夹头，螺纹套管和籽晶共同以顺时针方向旋转，当停止工作时，用扳手向上旋转螺纹套管，将籽晶夹头及其所连接的大尺寸晶体脱离籽晶杆，实现晶体的安全简便脱离。本发明专利的优势在于操作简单，移除方便，避免了生长炉籽晶杆的破坏，节约了生产成本。

主权项

一种用于晶体生长炉内的籽晶杆装置，在晶体生长炉内，保温盖，上部籽晶杆，连接器下部籽晶杆顺序连接，其特征是：籽晶杆与籽晶夹头接触，以螺纹套管内螺纹相连接固定。