发明名称 光学三角测头的光路系统
摘要 本发明提供一种光学三角位移测头的光路系统,包括聚焦光路系统和成像光路系统,其中,光源发出的光束通过聚焦光束系统照射在待测物体表面上,通过漫反射或者散射,该光束通过成像光学系统在检测器上成像,并且所述成像光路系统在聚焦平面上成放大的像。
申请公布号 CN103697822A 申请公布日期 2014.04.02
申请号 CN201310733949.8 申请日期 2013.12.26
申请人 北京信息科技大学 发明人 娄小平;董明利;郭阳宽;祝连庆;牛春晖;周哲海
分类号 G01B11/02(2006.01)I 主分类号 G01B11/02(2006.01)I
代理机构 北京律恒立业知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11416 代理人 蔡艳园;庞立岩
主权项 一种光学三角位移测头的光路系统,包括聚焦光路系统和成像光路系统,其中,光源发出的光束通过聚焦光束系统照射在待测物体表面上,通过漫反射或者散射,该光束通过成像光学系统在检测器上成像,并且所述成像光路系统在聚焦平面上成放大的像。
地址 100085 北京市海淀区清河小营东路12号北京信息科技大学光电学院