发明名称 | 一种纳米压印光刻胶表面改性剂 | ||
摘要 | 本发明涉及一种纳米压印光刻胶表面改性剂,属于半导体制造技术光刻胶材料领域。该表面改性剂的组成和重量配比如下:有机小分子溶剂:65%-85% 全氟紫外固化树脂:10%-30% 表面活性剂0.5%-5%光引发剂0.1-0.5%稳定剂:0.1-0.5%。根据以上配比配料,依次放入容器中加热并搅拌使之混合均匀,在30-40℃温度下稳定半小时,经0.2μm孔径过滤器过滤即得表面处理剂。将其喷涂于压印光刻胶表面做表面处理剂。本发明制得的表面处理剂能够有效的降低光刻胶表面能,以达到顺利脱模、减少缺陷、保护模板的目的。 | ||
申请公布号 | CN102604454B | 申请公布日期 | 2014.04.02 |
申请号 | CN201110428667.8 | 申请日期 | 2011.12.20 |
申请人 | 上海大学 | 发明人 | 张剑平;赵彬;王金合;任鑫;施利毅 |
分类号 | G03F7/11(2006.01)I;C09D4/02(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/11(2006.01)I |
代理机构 | 上海上大专利事务所(普通合伙) 31205 | 代理人 | 顾勇华 |
主权项 | 一种纳米压印光刻胶表面改性剂,其特征在于具有以下的组成成分及重量百分比:有机小分子溶剂 65%‑85% 全氟紫外固化树脂 10%‑30% 表面活性剂 0.5%‑5% 光引发剂 0.1‑0.5% 稳定剂 0.1‑0.5%所述的有机小分子溶剂,为乳酸乙酯、丁酮、环己酮、二丙酮醇、乙二醇甲醚、乙二醇乙醚、乙二醇单丁醚中的任一种或几种的组合;所述的全氟紫外固化树脂为碳原子数目大于10而小于25的全氟丙烯酸酯、全氟环氧树脂、全氟乙烯基醚中的一种;所述的表面活性剂为脂肪醇聚氧乙烯醚、聚氧乙烯烷基胺、多醇表面活性剂中的任一种或几种的组合;所述的光引发剂,为2,2‑二乙氧苯乙酮、1‑羟基环己基苯乙酮、对异丙基苯基‑2‑羟基二甲基丙酮‑1、二苯甲酮、2‑氯化硫杂蒽酮、4‑苯基二苯甲酮、2,4二甲基硫杂蒽酮、9,10‑菲醌、双甲基氨‑对氧氮环丁酮中的任一种或几种的组合; 所述的稳定剂,为二苯甲酮类、苯并三唑类、水杨酸芳香酯类、苯甲酸酯类稳定剂的任一种或几种的组合。 | ||
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