一种基板缓存装置

摘要

本发明提供一种基板缓存装置，包括安装支架，还包括：多个用于存放基板的支撑结构，相互平行、间隔地由上至下设置于所述安装支架上，且相对于所述安装支架活动设置；驱动结构，用于当机械手欲在其中的第一支撑结构上方进行取放基板操作时，推动所述第一支撑结构以上的所述支撑结构向上滑动，所述第一支撑结构的上方留出机械手进行取放操作的转换空间。该基板缓存装置在保证不增加占用空间的条件下，解决现有技术基板存放空间较小，不利于机械手进行取放转换动作的问题。

主权项

一种基板缓存装置，包括安装支架，其特征在于，还包括：多个用于存放基板的支撑结构，相互平行、间隔地由上至下设置于所述安装支架上，且相对于所述安装支架活动设置；驱动结构，用于当机械手欲在其中的第一支撑结构上方进行取放基板操作时，推动所述第一支撑结构以上的所述支撑结构向上滑动，所述第一支撑结构的上方留出机械手进行取放操作的转换空间。