| 发明名称 | 一种硅片盒 | ||
| 摘要 | 本实用新型属于半导体制造装备技术领域，本实用新型公开了一种硅片盒，包括有载片弯板、与之两端连接在一起的支撑挡板组成，其特征在于：在所述硅片盒内设置减震层、防滑层。本实用新型的有益效果是：硅片数量不受刻槽数量的限制，增加硅片的存放量，而且易于清洗、具有减震功能，且结构简单、使用方便、操作安全，提高转运效率。 | ||
| 申请公布号 | CN203521384U | 申请公布日期 | 2014.04.02 |
| 申请号 | CN201320552167.X | 申请日期 | 2013.09.06 |
| 申请人 | 济南科盛电子有限公司 | 发明人 | 郭城;吕明;徐明星;郭英云;纪大鹏 |
| 分类号 | H01L21/673(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/673(2006.01)I |
| 代理机构 | 济南日新专利代理事务所 37224 | 代理人 | 谢省法 |
| 主权项 | 一种硅片盒，包括有载片弯板、与之两端连接在一起的支撑挡板组成，其特征在于：在所述硅片盒内设置减震层、防滑层，所述防滑层设置有齿状条纹、铺设在所述减震层的上面。 | ||
| 地址 | 250200 山东省济南市章丘市明水经济开发区明埠路中段西面 | ||